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 Simulation and experimental study of ultrasound-chemical synergistic mechanism for ultrasound-assisted chemical-mechanical polishing of single-crystal silicon carbide 超声辅助化学机械抛光单晶碳化硅超声-化学协同机理的模拟与实验研究
相关领域
材料科学
抛光
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期刊：Surfaces and Interfaces 作者：Jialong Wu; Linzheng Ye; Xijing Zhu; Yao Liu; Tongtong Li; et al 出版日期：2025-08-18 |
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