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标题
[高分] Handbook for cleaning for semiconductor manufacturing : fundamentals and applications
半导体制造清洁手册：基础与应用
相关领域
半导体器件制造 半导体 制造工程 工程类 电气工程 薄脆饼
网址
https://onlinelibrary.wiley.com/doi/book/10.1002/97811180717...
DOI
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AI识别 10.1002/9781118071748 doi
其它 期刊：
作者：Karen A. Reinhardt; Richard F. Reidy
出版日期：2011-01-01
求助人
Heidi 在 2025-08-04 10:55:34 发布自上海，悬赏 60 积分
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  • 11个月前，求助关闭

    科研通管家 科研通管家 机器人 关闭了本次求助。

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  • 11个月前

    Heidi Heidi Lv4 求助人 发起了本次求助

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