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Effect of moisture on the properties of hafnium zirconium oxide ferroelectric thin films
水分对铪锆氧化物铁电薄膜性能的影响
相关领域
材料科学 铁电性 水分 氧化物 薄膜 复合材料 冶金 纳米技术 光电子学 电介质
网址
DOI
10.1016/j.mssp.2025.109439 doi
其它 期刊:Materials Science in Semiconductor Processing
作者:Fan Wu; Jianguo Li; Zeping Weng; Junliang Zhou; Lijian Chen; et al
出版日期:2025-03-08
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photogragher 在 2025-10-19 14:55:26 发布自福建,悬赏 10 积分
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