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![]() 胺作为化学放大抗蚀剂体系稳定剂的选择
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期刊:Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者:Lawrence Ferreira; Sanjay Malik; Thomas R. Sarubbi; Andrew J. Blakeney; Brian Maxwell 出版日期:1998-06-29 |
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