Epitaxial growth of ZnO films at extremely low temperature by atomic layer deposition with interrupted flow

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标题	Epitaxial growth of ZnO films at extremely low temperature by atomic layer deposition with interrupted flow 相关领域材料科学外延薄膜蓝宝石原子层沉积二乙基锌基质（水族馆）微观结构原子层外延锌图层（电子）分析化学（期刊）光电子学大气温度范围沉积（地质）纳米技术光学复合材料化学冶金有机化学激光器地质学古生物学海洋学催化作用生物沉积物物理气象学对映选择合成
网址	https://doi.org/10.1016/j.matchemphys.2009.12.028
DOI	10.1016/j.matchemphys.2009.12.028 doi
其它	期刊：Materials Chemistry and Physics 作者：Ching‐Shun Ku; Hsin‐Yi Lee; Jheng-Ming Huang; Chih‐Ming Lin 出版日期：2010-01-13
求助人	罗霄山在 2026-01-05 18:20:43 发布自上海，悬赏 10 积分
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