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Mist-CVD-derived Hf0.55Zr0.45O2 ferroelectric thin films post-annealed by rapid thermal annealing 相关领域
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期刊:AIP Advances 作者:S. Tanaka; Yuki Fujiwara; Hiroyuki Nishinaka; Masahiro Yoshimoto; Minoru Noda 出版日期:2023-01-01 |
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