Numerical simulation of plasma in a 915 MHz MPCVD reactor using a simplified 2D structure

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标题	Numerical simulation of plasma in a 915 MHz MPCVD reactor using a simplified 2D structure
网址	https://doi.org/10.2139/ssrn.5768352
DOI	10.2139/ssrn.5768352 doi
其它	期刊：作者：xue liu; Cuiting Zhang; Xianyi Lv; Qiliang Wang; Liuan Li; Guangtian Zou 出版日期：2025-11-19
求助人	fangting 在 2026-02-10 10:40:31 发布自江苏，悬赏 10 积分
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