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 Growth of the ternary Pb(Mn,Nb)O 3 –Pb(Zr,Ti)O 3 thin film with high piezoelectric coefficient on Si by RF sputtering 相关领域
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期刊：Journal of the American Ceramic Society 作者：Xianyao Jiang; Jiasheng Wang; Zhihua Duan; Chuanqing Li; Tao Wang; et al 出版日期：2022-11-30 |
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