Growth of the ternary Pb(Mn,Nb)O 3 –Pb(Zr,Ti)O 3 thin film with high piezoelectric coefficient on Si by RF sputtering

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标题	Growth of the ternary Pb(Mn,Nb)O 3 –Pb(Zr,Ti)O 3 thin film with high piezoelectric coefficient on Si by RF sputtering 相关领域材料科学薄膜压电压电系数铁电性溅射极化溅射沉积三元运算极化（电化学）基质（水族馆）硅复合材料矿物学分析化学（期刊）光电子学电介质纳米技术色谱法化学程序设计语言物理化学地质学海洋学计算机科学
网址	https://doi.org/10.1111/jace.18918
DOI	10.1111/jace.18918 doi
其它	期刊：Journal of the American Ceramic Society 作者：Xianyao Jiang; Jiasheng Wang; Zhihua Duan; Chuanqing Li; Tao Wang; et al 出版日期：2022-11-30
求助人	Mu5k 在 2026-01-11 09:12:49 发布自上海，悬赏 10 积分
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