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 Significantly improved high k dielectric performance: Rare earth oxide as a passivation layer laminated with TiO2 film 显著提高高k介电性能：稀土氧化物作为钝化层与TiO2膜层压
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期刊：Journal of Rare Earths 作者：Shuan Li; Weipeng Wang; Youyu Lin; Linlin Wang; Xingguo Li 出版日期：2022-05-16 |
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