清晨好,您是今天最早来到科研通的研友!由于当前在线用户较少,发布求助请尽量完整的填写文献信息,科研通机器人24小时在线,伴您科研之路漫漫前行!

Impact of the Deposition and Annealing Temperature on the Silicon Surface Passivation of ALD Al2O3 Films

钝化 退火(玻璃) 薄脆饼 材料科学 场效应 原子层沉积 光电子学 图层(电子) 化学工程 冶金 纳米技术 工程类
作者
Stefan Bordihn,I. Kiesow,Verena Mertens,P. Engelhart,J.W. MŸller,W.M.M. Kessels
出处
期刊:Energy Procedia [Elsevier]
卷期号:27: 396-401 被引量:8
标识
DOI:10.1016/j.egypro.2012.07.083
摘要

The effect of the deposition and annealing temperature on the surface passivation of atomic layer deposited Al2O3 films was investigated on n-type Cz silicon wafers. The deposition temperature was varied between 200 and 500̊C and the annealing temperature between 300 and 450̊C, respectively. Films prepared at 200 and 300̊C showed an improvement of surface passivation with increasing anneal temperature. The Al2O3 films grown at 400 and 500̊C did not improve by annealing. By corona charging experiments it was revealed that the improvement in surface passivation with increasing anneal temperature of films grown at 300̊C can be attributed to a significant increase in chemical passivation with a minor increase in field-effect passivation. For Cz and FZ wafers an identical surface passivation was achieved with the chemical passivation being lower for Cz wafers due to the surface morphology and the field-effect passivation being quite similar. Consequently the field-effect passivation was found to be the more important passivation mechanism.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
大幅提高文件上传限制,最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
万能图书馆应助赖飞阳采纳,获得10
5秒前
小蘑菇应助赖飞阳采纳,获得10
5秒前
ding应助赖飞阳采纳,获得10
5秒前
顾矜应助赖飞阳采纳,获得10
5秒前
丘比特应助赖飞阳采纳,获得10
5秒前
隐形曼青应助赖飞阳采纳,获得10
5秒前
baymin完成签到 ,获得积分10
6秒前
xuaotian完成签到,获得积分10
14秒前
pig120完成签到 ,获得积分10
17秒前
研友_nxw2xL完成签到,获得积分10
39秒前
风中茈完成签到 ,获得积分10
1分钟前
桐桐应助赖飞阳采纳,获得10
1分钟前
1分钟前
脑洞疼应助赖飞阳采纳,获得10
1分钟前
CharlotteBlue应助赖飞阳采纳,获得10
1分钟前
小蘑菇应助赖飞阳采纳,获得10
1分钟前
科目三应助赖飞阳采纳,获得10
1分钟前
华仔应助赖飞阳采纳,获得10
1分钟前
爆米花应助赖飞阳采纳,获得10
1分钟前
NexusExplorer应助赖飞阳采纳,获得10
1分钟前
斯文败类应助赖飞阳采纳,获得10
1分钟前
1分钟前
贺万勇发布了新的文献求助30
2分钟前
CharlotteBlue应助赖飞阳采纳,获得10
2分钟前
丘比特应助赖飞阳采纳,获得10
2分钟前
CharlotteBlue应助赖飞阳采纳,获得10
2分钟前
CharlotteBlue应助赖飞阳采纳,获得10
2分钟前
CharlotteBlue应助赖飞阳采纳,获得10
2分钟前
CharlotteBlue应助赖飞阳采纳,获得10
2分钟前
CharlotteBlue应助赖飞阳采纳,获得10
2分钟前
SciGPT应助赖飞阳采纳,获得10
2分钟前
领导范儿应助赖飞阳采纳,获得10
2分钟前
CharlotteBlue应助赖飞阳采纳,获得10
2分钟前
贺万勇完成签到,获得积分10
2分钟前
2分钟前
2分钟前
2分钟前
田様应助酷炫皮皮虾采纳,获得30
2分钟前
Hello应助dyfsj采纳,获得10
3分钟前
jiayoujijin完成签到 ,获得积分10
3分钟前
高分求助中
Teaching Social and Emotional Learning in Physical Education 900
Gymnastik für die Jugend 600
Chinese-English Translation Lexicon Version 3.0 500
Electronic Structure Calculations and Structure-Property Relationships on Aromatic Nitro Compounds 500
マンネンタケ科植物由来メロテルペノイド類の網羅的全合成/Collective Synthesis of Meroterpenoids Derived from Ganoderma Family 500
[Lambert-Eaton syndrome without calcium channel autoantibodies] 440
Plesiosaur extinction cycles; events that mark the beginning, middle and end of the Cretaceous 400
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 有机化学 工程类 生物化学 纳米技术 物理 内科学 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 电极 光电子学 量子力学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 2384415
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 2091300
关于积分的说明 5257907
捐赠科研通 1818181
什么是DOI,文献DOI怎么找? 906953
版权声明 559082
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 484262