Development status and HVM progress of CNT pellicles

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标题	Development status and HVM progress of CNT pellicles
网址	https://doi.org/10.1117/12.3118592
DOI	10.1117/12.3118592 doi
其它	期刊：Photomask Japan 2026: XXXII Symposium on Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology 作者：Yusuke Shimizu; Yosuke Ono; Takashi Kozeki 出版日期：2026-09-24
求助人	aa3294 在 2026-10-14 00:43:41 发布自北京，悬赏 20 积分
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