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标题
A unified architecture for enterprise photomask lifecycle management in advanced lithography
网址
https://doi.org/10.1117/12.3118297
DOI
10.1117/12.3118297 doi
其它 期刊：Photomask Japan 2026: XXXII Symposium on Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology
作者：Bryan Ng; Tobias Ferber; Sebastian Haufe; Danny Yeoh; Shane Melancon; et al
出版日期：2026-09-24
求助人
aa3294 在 2026-10-14 00:43:15 发布自北京，悬赏 20 积分
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