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Highly Selective Plasma Etching Technique for Molybdenum |
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期刊:Plasma Chemistry and Plasma Processing 作者:Artem A. Osipov; Nikolai Andrianov; Anastasia B. Speshilova; Alina E. Gagaeva; Sarah Risquez; et al 出版日期:2023-02-18 |
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(2025-6-4)