Precise process control of direct current magnetron sputtered ruthenium thin films for enhanced surface morphology and stress management

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标题	Precise process control of direct current magnetron sputtered ruthenium thin films for enhanced surface morphology and stress management
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.matlet.2026.140374
DOI	10.1016/j.matlet.2026.140374 doi
其它	期刊：Materials Letters 作者：Deepak Kumar; Maarten P. de Boer 出版日期：2026-06-01
求助人	温暖的雁在 2026-09-16 14:33:53 发布自江苏，悬赏 10 积分
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