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标题
Evaluation of chemical mechanical polishing characteristics using mixed abrasive slurry: A study on polishing behavior and material removal mechanism
网址
https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2024.161157
DOI
10.1016/j.apsusc.2024.161157 doi
其它 期刊：Applied Surface Science
作者：Xiaoxiao Zhu; Juxuan Ding; Zhangchao Mo; Xuesong Jiang; Jifei Sun; et al
出版日期：2024-09-03
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cecily 在 2026-09-20 14:31:55 发布自中国台湾，悬赏 10 积分
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