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Formation of a Positive Photoresist Thin Film by Spin Coating: Influence of Atmospheric Humidity
相关领域
光刻胶 纺纱 薄脆饼 湿度 旋涂 相对湿度 材料科学 复合材料 涂层 流出 化学 纳米技术 气象学 图层（电子） 物理
网址
http://dx.doi.org/10.1143/JJAP.36.7041
DOI
10.1143/JJAP.36.7041 doi
求助人
bjs 在 2026-08-24 09:00:26 发布自美国，悬赏 10 积分
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