Scalable fabrication of hemispherical solid immersion lenses in silicon carbide through grayscale hard-mask lithography

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标题	Scalable fabrication of hemispherical solid immersion lenses in silicon carbide through grayscale hard-mask lithography
网址	https://doi.org/10.1063/5.0144684
DOI	10.1063/5.0144684 doi
其它	期刊：Applied Physics Letters 作者：Christiaan J. Bekker; M. Arshad; P. Cilibrizzi; Charalampos Nikolatos; P. Lomax; et al 出版日期：2023-01-18
求助人	星空在 2026-08-12 16:09:59 发布，悬赏 10 积分
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