Electromigration comparison of selective CVD cobalt capping with PVD Ta(N) and CVD cobalt liners on 22nm-groundrule dual-damascene Cu interconnects

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标题	Electromigration comparison of selective CVD cobalt capping with PVD Ta(N) and CVD cobalt liners on 22nm-groundrule dual-damascene Cu interconnects
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/6523362/6531927/06532002...
DOI	10.1109/irps.2013.6532002 doi
其它	期刊：2013 IEEE International Reliability Physics Symposium (IRPS) 作者：A. H. Simon; T. Bolom; C. Niu; F. H. Baumann; C. Hu; et al 出版日期：2013-06-26
求助人	yyq 在 2026-08-20 13:47:45 发布自中国，悬赏 10 积分
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