Development of an atomic layer etching process for diamond substrates

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标题	Development of an atomic layer etching process for diamond substrates
网址	https://pubs.aip.org/avs/jva/article-pdf/doi/10.1116/6.00053...
DOI	10.1116/6.0005341 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A 作者：Marine Régnier; Jacek Kasprzak; Amadeusz Dydniański; Elliott Rouchouze; A. Traoré; et al 出版日期：2026-03-26
求助人	su 在 2026-09-17 17:21:56 发布自湖北，悬赏 10 积分
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