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Mechanistic study of the atomic layer deposition of scandium oxide films using Sc(MeCp)2(Me2pz) and ozone |
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期刊:Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films 作者:Rezwanur Rahman; Joseph P. Klesko; Aaron Dangerfield; Ming Fang; Jean-Sébastien M. Lehn; et al 出版日期:2019-01-02 |
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