| 标题 |
 Thickness dependence of the properties of highlyc-axis textured AlN thin films 高C轴织构AlN薄膜性能的厚度依赖性
相关领域
材料科学
电介质
衍射
介电常数
氮化物
残余应力
表面光洁度
薄膜
电极
电场
表面粗糙度
复合材料
铝
分析化学（期刊）
光学
光电子学
纳米技术
图层（电子）
化学
物理
物理化学
量子力学
色谱法
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：F. Martin; Paul Muralt; M.-A. Dubois; A. Pezous 出版日期：2004-02-12 |
| 求助人 | |
| 下载 | 求助已完成，仅限求助人下载。 |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
PDF的下载单位、IP信息已删除
SYLH
YamDaamCaa
请叫我风吹麦浪
眼睛大雨筠
彭于彦祖
ll
Rondab
yar
pluto
风清扬
卡卡西
smottom
LaTeXer
iNk
yznfly
djiwisksk66
聪慧小霜
8R60d8
pcr163
昏睡的蟠桃
皖公网安备34019202002308
