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 Growth of GaN single crystal films using electron cyclotron resonance plasma excited metalorganic vapor phase epitaxy 电子回旋共振等离子体激发金属有机气相外延生长GaN单晶薄膜
相关领域
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电子回旋共振
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期刊：Applied Physics Letters 作者：Sakae Zembutsu; Toru Sasaki 出版日期：1986-03-31 |
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