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标题
Miniaturized silicon-based capacitive six-axis force/torque sensor with large range, high sensitivity, and low crosstalk
大量程、高灵敏度、低串扰的小型化硅基电容式六轴力/力矩传感器
相关领域
电容感应 扭矩 解耦（概率） 电容器 炸薯条 材料科学 去耦电容器 多物理 硅 串扰 光电子学 声学 有限元法 电子工程 电气工程 物理 电压 工程类 结构工程 控制工程 热力学
网址
https://doi.org/10.1038/s41378-024-00831-0
DOI
10.1038/s41378-024-00831-0 doi
其它 期刊：Microsystems & Nanoengineering
作者：Renjie Tan; Yong Xia; Xiangguang Han; Linya Huang; Wendi Gao; et al
出版日期：2024-11-29
求助人
傻傻的寄翠 在 2025-06-30 19:20:21 发布自山西，悬赏 20 积分
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