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 Atomic layer deposition of titanium oxide thin films using a titanium precursor with a linked amido-cyclopentadienyl ligand 使用具有连接的酰氨基-环戊二烯基配体的钛前驱体的氧化钛薄膜的原子层沉积
相关领域
环戊二烯基络合物
材料科学
钛
原子层沉积
图层（电子）
配体（生物化学）
氧化钛
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期刊：Journal of Materials Chemistry C 作者：Seongyoon Kim; Romel Hidayat; Hyeonsu Roh; Jaemin Kim; Hye-Lee Kim; et al 出版日期：2022-01-01 |
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平常念双
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