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标题
Compact spatial phase-shifting quadrature detection for nanometer displacement measurement
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DOI
10.1016/j.ymssp.2026.114425 doi
其它 期刊:Mechanical Systems and Signal Processing
作者:Zhiqiang Chen; Zhenghui Zhang; Guobo Zhao; Niming Peng; Baigen Chen; et al
出版日期:2026-05-19
求助人
11 在 2026-09-17 14:15:48 发布自江苏,悬赏 10 积分
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