Diamondlike carbon thin film fabrication by plasma-enhanced chemical vapor deposition using CH4/N2 gas mixtures for use as a hard mask

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标题	Diamondlike carbon thin film fabrication by plasma-enhanced chemical vapor deposition using CH4/N2 gas mixtures for use as a hard mask
网址	https://doi.org/10.1116/6.0004440
DOI	10.1116/6.0004440 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science and technology 作者：J. Chong; R. F. Kopf; J.S. Kaufman; Chen Xu; M. Cappuzzo; et al 出版日期：2025-07-30
求助人	踏雪逍遥行在 2026-09-17 16:52:20 发布自山东，悬赏 10 积分
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