| 标题 |
  Performance improvement of AlGaN based deep-ultraviolet micro-LED arrays by optimizing radio frequency power of inductively coupled plasma etching 相关领域
材料科学
蚀刻（微加工）
光电子学
无线电频率
感应耦合等离子体
等离子体刻蚀
射频功率放大器
射频功率传输
二极管
等离子体
发光二极管
制作
光功率
反应离子刻蚀
干法蚀刻
功率（物理）
紫外线
传输（电信）
宽禁带半导体
功率密度
波长
光学
绩效改进
传输损耗
抵抗
氮化镓
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| 其它 |
期刊：AIP Advances 作者：Zewei Kang; Xuejiao Sun; Sijia Wu; Mingfeng Gong; Rongxin Zhang; et al 出版日期：2026-03-01 |
| 求助人 | |
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