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标题
Developments of TaN ALD Process for 3D Conformal Coatings
网址
http://dx.doi.org/10.1002/cvde.201100045
DOI
10.1002/cvde.201100045 doi
其它 期刊：Chemical Vapor Deposition
作者：Virginie Brizé; Thomas Prieur; Perrine Violet; Laurent Artaud; Grégory Berthomé; et al
出版日期：2011-12-01
求助人
lulu 在 2026-09-02 14:25:58 发布自广东，悬赏 10 积分
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