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标题
A Three-Stack Silicon Wafer Direct Bonding MEMS Tilt Sensor With Less Than 0.005° Angle Repeatability
网址
https://www.semanticscholar.org/paper/82234822eb558076b94e31...
DOI
10.1109/jsen.2026.3662693 doi
其它 期刊：IEEE Sensors Journal
作者：Shihao Du; Weihong Chu; Tiangi Guo; Jianlin Chen; Jingchuan Zhou; et al
出版日期：2026-04-01
求助人
T_KYG 在 2026-07-04 20:30:56 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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  • 2小时前

    科研通AI2S 科研通AI2S 机器人Lv12 上传了文件

    待审核 A_Three-Stack_Silicon_Wafer_Direct_Bonding_MEMS_Tilt_Sensor_With_Less_Than_0.005_Angle_Repeatability.pdf (3.29 MB)
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  • 7小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    20:31:02 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    20:30:58 科研通AI机器人（新加坡）收到请求，开始寻找文献
    20:30:56 已向机器人发送请求

  • 7小时前

    T_KYG T_KYG Lv4 求助人 发起了本次求助

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