| 标题 |
 A review on temperature coefficient of frequency (TCf) in resonant microelectromechanical systems (MEMS) 相关领域
微电子机械系统
温度系数
材料科学
物理
光电子学
复合材料
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| 其它 |
期刊：Applied physics reviews 作者：Wen Sui; S. J. Pearton; Philip X.‐L. Feng 出版日期：2025-06-01 |
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