Modifying single-crystal silicon and trimming silicon microring devices by femtosecond laser irradiation

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标题	Modifying single-crystal silicon and trimming silicon microring devices by femtosecond laser irradiation
网址	https://doi.org/10.1364/OE.514535
DOI	10.1364/OE.514535 doi
其它	期刊：Optics Express 作者：Jia Du; Libing Zhou; Weixiao Xu; Yuanan Zhao; MingZhe Chen; et al 出版日期：2024
求助人	372925abc 在 2026-06-21 15:33:03 发布自湖北，悬赏 10 积分
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