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Impact of pattern dependency of SiGe layers grown selectively in source/drain on the performance of 14nm node FinFETs |
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期刊:Solid-state Electronics 作者:Changliang Qin; Guilei Wang; Mohammadreza Kolahdouz; Jun Luo; H. F. Yin; et al 出版日期:2016-07-20 |
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(2025-6-4)