Fluorine and oxygen plasma exposure behavior of yttrium oxyfluoride ceramics

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标题	Fluorine and oxygen plasma exposure behavior of yttrium oxyfluoride ceramics
网址	http://dx.doi.org/10.7567/1347-4065/ab1636
DOI	10.7567/1347-4065/ab1636 doi
其它	期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Kenji Miyashita; Toru Tsunoura; Katsumi Yoshida; Toyohiko Yano; Yukio Kishi 出版日期：2019-05-30
求助人	wei 在 2026-07-06 08:46:02 发布自上海，悬赏 10 积分
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