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 Deep silicon etching technology and applications: a review 相关领域
蚀刻（微加工）
硅
材料科学
深反应离子刻蚀
纳米技术
工程物理
光电子学
工程类
反应离子刻蚀
图层（电子）
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| 其它 |
期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering 作者：Hao Chen; Chao Zhu; Guoming Lin; Yuanwei Lin 出版日期：2025-08-05 |
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