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Deep reactive ion etching

作者

Franz Laermer,Sami Franssila,Lauri Sainiemi,Kai Kolari

出处

期刊：Elsevier eBooks [Elsevier BV]
日期：2020-01-01 卷期号：: 417-446 被引量：57

标识

DOI：10.1016/b978-0-12-817786-0.00016-5

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