Challenges and progress of PFAS alternatives for ArF resist

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标题	Challenges and progress of PFAS alternatives for ArF resist 相关领域抵抗纳米技术风险分析（工程）计算机科学灵活性（工程）故障排除工程类材料科学医学过程（计算）
网址	https://www.spiedigitallibrary.org/conference-proceedings-of...
DOI	10.1117/12.3090471 doi
其它	期刊：Advanced Lithography 作者：Naohiro Tango; Nishiki Fujimaki; Ryosuke Kato; Akiyoshi Goto; H. Tsubaki 出版日期：2026-04-09
求助人	Ccccn 在 2026-09-13 10:22:06 发布自福建，悬赏 20 积分
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