Atomic layer deposition of high-k and metal thin films for high-performance DRAM capacitors: A brief review

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标题	Atomic layer deposition of high-k and metal thin films for high-performance DRAM capacitors: A brief review
网址	https://doi.org/10.1016/j.cap.2024.05.011
DOI	10.1016/j.cap.2024.05.011 doi
其它	期刊：Current Applied Physics 作者：Se Eun Kim; Ju Young Sung; Yewon Yun; Byeongjun Jeon; Sang Mo Moon; et al 出版日期：2024-05-12
求助人	AceeD 在 2026-09-21 17:59:41 发布自四川，悬赏 10 积分
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