| 标题 |
Plasma Damage on Low-k Dielectric Materials |
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| DOI |
10.5772/intechopen.79494
doi
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期刊:Plasma Science and Technology 作者:Yi-Lung Cheng; Chih-Yen Lee; Chiao-Wei Haung 出版日期:2018-11-05 |
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(2025-6-4)