An innovative gas inlet design in a microwave plasma chemical vapor deposition chamber for high-quality, high-speed, and high-efficiency diamond growth

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标题	An innovative gas inlet design in a microwave plasma chemical vapor deposition chamber for high-quality, high-speed, and high-efficiency diamond growth
网址	https://doi.org/10.1088/1361-6463/acdbd6
DOI	10.1088/1361-6463/acdbd6 doi
其它	期刊：Journal of Physics D 作者：Weikang zhao; Yan Teng; Kun Tang; Shunming Zhu; Dongyang Liu; et al 出版日期：2023-06-06
求助人	归尘在 2026-08-27 10:38:11 发布自安徽，悬赏 10 积分
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