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 A comparison of tungsten film deposition techniques for very large scale integration technology 用于超大规模集成技术的钨薄膜沉积技术比较
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| DOI |
10.1016/0040-6090(87)90206-9
doi
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| 其它 |
期刊：Thin Solid Films 作者：K.Y. Ahn 出版日期：2002-10-19 |
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