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标题
Surface Defect Classification in Silicon Wafer Manufacturing Using Linear-Based Channeling and Rule-Based Binning
基于线性沟道和规则宁滨的硅片表面缺陷分类
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薄脆饼 半导体器件制造 硅 计量学 曲面（拓扑） 半导体 材料科学 纳米技术 晶圆制造 过程（计算） 半导体工业 光电子学 计算机科学 光学 工程类 制造工程 物理 数学 几何学 操作系统
网址
https://www.hilarispublisher.com/open-access/surface-defect-...
DOI
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其它 期刊：Journal of Material Sciences & Engineering
作者：Hao Hu; Kari Ullako; Xin Lai; Mingming Chao
出版日期：2021-01-01
求助人
缪南风 在 2024-01-02 08:46:40 发布自山东，悬赏 10 积分
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