标题 |
Defects study of MOCVD grown β-Ga2O3 films
MOCVD生长β-Ga2O3薄膜的缺陷研究
相关领域
材料科学
退火(玻璃)
金属有机气相外延
蓝宝石
化学气相沉积
镓
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分析化学(期刊)
电阻率和电导率
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DOI |
10.1117/12.2002913
doi
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