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  Impact of atomic layer deposition temperature on electrical and optical properties of ZnO:Al films 原子层沉积温度对ZnO：Al薄膜电学和光学性能的影响
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期刊：Journal of Science Advanced Materials and Devices 作者：Ivan Masmitjà Rusiñol; Pau Estarlich; Gema López; Isidro Martín; C. Voz; et al 出版日期：2024-03-01 |
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