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标题
Versatile Approach of Silicon Nanofabrication without Resists: Helium Ion-Bombardment Enhanced Etching
无抗蚀剂硅纳米加工的通用方法：氦离子轰击增强蚀刻
相关领域
纳米光刻 抵抗 材料科学 蚀刻（微加工） 硅 纳米技术 光刻胶 制作 碳化硅 光电子学 复合材料 图层（电子） 医学 病理 替代医学
网址
https://www.mdpi.com/2079-4991/12/19/3269/pdf?version=166392...
AI链接 mdpi.com mdpi.com doaj.org nih.gov nih.govdoi.org
DOI
10.3390/nano12193269 doi
其它 期刊：Nanomaterials
作者：Xiaolei Wen; Lansheng Zhang; Feng Tian; Yang Xu; Huan Hu
出版日期：2022-09-20
求助人
Qogir 在 2025-08-29 21:53:39 发布，悬赏 10 积分
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