| 标题 | 
                                                                                                                                                                     钨化学气象沉积工艺过程中的缺陷研究                                                     | 
                                            
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                                                            10.19339/jissn.1674-25832022.01.013                                                            
                                                            
                                                                doi 
                                                            
                                                                                                                                                                                    
                                                                
                                                            
                                                         
                                                                                                                                                             | 
                                            
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