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标题
Mechanistic study of infiltration synthesis of organic-inorganic hybrid resists for EBL and EUVL resist
网址
https://doi.org/10.1117/12.3090773
DOI
10.1117/12.3090773 doi
其它 期刊：Advances in Patterning Materials and Processes XLIII
作者：Md Istiaque Chowdhury; Xinpei Wu; Won-Il Lee; Peter Sun; J. Anibal Boscoboinik; et al
出版日期：2026-04-10
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皮三问 在 2026-09-28 12:53:48 发布自上海，悬赏 20 积分
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