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 Enhancing β-Ga2O3-film ultraviolet detectors via RF magnetron sputtering with seed layer insertion on c-plane sapphire substrate c面蓝宝石衬底射频磁控溅射增强β-Ga2O3薄膜紫外探测器
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期刊：Nanotechnology 作者：Guodong Wang; Haohan Wang; Tingyu Chen; Yanji Feng; Hua Zeng; et al 出版日期：2023-11-23 |
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