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 High-power impulse magnetron re-sputtering/sputtering apparatus for Nb–Cu 1.3 GHz RF cavities 相关领域
铌
材料科学
超导射频
超导电性
光电子学
铜
钽
腔磁控管
脉冲（物理）
溅射沉积
蓝宝石
热的
纳米技术
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光学
钨
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期刊：Review of Scientific Instruments 作者：Peng Dong; Yanjiang Wang; Jianjun Xiao; Meiling Bao; Xin Liu; et al 出版日期：2025-10-20 |
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(2025-6-4)
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