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标题
High capacitance density highly reliable textured deep trench SiN capacitors toward 3D integration
面向3D集成的高电容密度高可靠纹理化深沟槽SiN电容器
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网址
https://doi.org/10.35848/1347-4065/abec5f
AI链接 iop.orgdoi.org
DOI
10.35848/1347-4065/abec5f doi
其它 期刊：Japanese Journal of Applied Physics
作者：Koga Saito; Ayano Yoshida; Rihito Kuroda; Hiroshi Shibata; Taku Shibaguchi; et al
出版日期：2021-03-05
求助人
lyyy 在 2025-11-19 15:49:07 发布自甘肃，悬赏 10 积分
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