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 A comprehensive study on the structural evolution of HfO2thin films doped with various dopants 不同掺杂剂掺杂HfO 2薄膜结构演化的综合研究
相关领域
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期刊：Journal of Materials Chemistry C 作者：Min Hyuk Park; Tony Schenk; Chris M. Fancher; Everett D. Grimley; Chuanzhen Zhou; et al 出版日期：2017-01-01 |
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